機械式光電開關(guān)是傳統(tǒng)的光電開關(guān)，在目前的光電傳感器系統(tǒng)中已成為最成熟的光電開關(guān)產(chǎn)品。一種實用化的機械式多模光電開關(guān)損耗小于1dB，開關(guān)時間小于1ms。但是傳統(tǒng)的機械式光電開關(guān)以遠(yuǎn)不能滿足快速發(fā)展的工業(yè)需求，而需不斷研究卡法新型的機械式光電開關(guān)，最具成效的是微光機系列光電開關(guān)和金屬膜與無源波導(dǎo)相結(jié)合的光電開關(guān)。
微光激光傳感器機電系統(tǒng)光電開關(guān)是微機電系統(tǒng)技術(shù)與傳統(tǒng)光技術(shù)相結(jié)合的新型機械式光電開關(guān)。微光機電系統(tǒng)是基于半導(dǎo)體微細(xì)加工技術(shù)而成長起來的平面制作工藝技術(shù)，利用這種技術(shù)可以制作出微小而活動的機械系統(tǒng)。它采用集成電路標(biāo)準(zhǔn)工藝在襯底上制作出集成的微反射陣列。根據(jù)被驅(qū)動不見不同，可以把微光機電系統(tǒng)技術(shù)制作的光安全光幕電開關(guān)分為兩類：一類是基于傳統(tǒng)的機械式光電開關(guān)，依靠驅(qū)動光纖達(dá)到光電開關(guān)的目的，其驅(qū)動力可以是熱力，也可以是靜電力。這類光電開關(guān)保持了傳統(tǒng)機械式光電開關(guān)的高消光比特性 ，加之器件的體積大幅度縮小和器件開關(guān)速度的提高，故這類器件已開發(fā)出成熟的產(chǎn)品。
另外一種機械式光電開關(guān)則是移動器件的其它部件，如微反射鏡等，其驅(qū)動可以是熱力效應(yīng)，也可以是磁效應(yīng)。
